ASML, 승자 독식의 세계 1위 반도체(EUV) 장비 회사
ASML, 승자 독식의 세계 1위 반도체(EUV) 장비 회사
  • 김유진 기자
  • 승인 2020.07.07 17:49
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2019년 반도체 장비 매출액 기준 1위(점유율 21.6%), 반도체 노광 장비(EUV) 점유율 1위(80~90%) 기업

세계 유일 극자외선(EUV, 이하 EUV) 노광(Photolithography, 포토리소그라피) 장비 독점 기업, ASML에 대한 관심이 매우 뜨겁다. 5~7mm 이하 비메모리 반도체 생산에는 EUV 장비가 필수적이다. ASML은 현재 전 세계 반도체 제조장비 기업 가운데 시가총액과 영업이익이 가장 크며, 매출액은 2위에 달한다.

ASML은 1984년 네덜란드의 ‘필립스’와 반도체 제조장비 기업 ‘ASM인터내셔널’ 회사가 합작해 설립되었다. 광학기술이 우수했던 필립스와 반도체 장비 시장에서 두각을 나타냈던 ‘ASM인터내셔널’의 이해관계가 맞아 노하우가 결합해 탄생한 것이다. 1988년 독립하였으나 필립스는 일부 지분을 지속적으로 보유하였고, 2012년 미국 인텔은 극자외선 리소그래피 공정 개발을 위해 ASML 지분 15%를 인수하며 41억 달러를 투자하였다. 타이완 TSMC, 대한민국 삼성전자도 비슷한 이유로 지분을 투자하였다.

EUV Lithography 공정 [ASML 제공]
EUV Lithography 공정 [ASML 제공]

반도체 공정에서 회로 선 폭이 얇을수록 웨이퍼 한 장에 나타나는 칩의 수가 증가한다. 반도체 기업은 10나노, 20나노 등 나노 단위로 선 폭을 얇게 하는 기술 경쟁이 치열하다. 선 폭을 얇게 하려면 회로를 그리는 빛의 파장이 짧아야 하는데, ASML이 만든 장비는 10나노 미만의 초미세 공정을 구현할 수 있다. 삼성전자, TSMC 등 반도체 미세 공정 구현 기업은 모두 ASML 장비를 사용하고 있다.

ASML은 독일 광학기업 칼자이스와 협력을 맺어 2003년 기존에 없던 새로운 방식의 노광 장비를 출시한 바 있다. 이후 ASML은 캐논과 니콘을 넘어 노광장비 시장을 석권했다.

ASML은 칼자이스 외에도 독일, 벨기에 등 국가 업체와 협력 중이며, 900여 개 이상의 협력사로부터 관련 부품을 조달받는다. 또한, 글로벌 반도체 연구기관인 벨기에 아이멕(IMEC)을 비롯한 네덜란드 아인트호벤공대, 독일 아헨공대 등과 산학 협력을 맺고 있다. ASML은 ‘유럽 반도체 기술의 집합체’라고 불린다.

ASML의 EUV 장비는 한 대에 1,500억~2,000억 원의 초고가 장비이며, 1년에 불과 20~30대밖에 생산하지 못해 전 세계적으로 경쟁이 치열하다.

네덜란드 반도체 장비기업 ASML EUV 장비 [ASML 제공]
네덜란드 반도체 장비기업 ASML EUV 장비 [ASML 제공]

미중 무역 분쟁 중, 폼페이오 미국 국무장관이 네덜란드를 방문하며, 네덜란드 총리에게 최신 반도체 장비를 중국에 판매 금지 요구함으로 ASML 저력을 확인할 수 있었다. ASML은 폼페이오 방문 이후, 중국 최대 파운드리(반도체 생산) 기업 SMIC에 EUV 장비 공급을 보류하기로 결정했다.

ASML의 매출은 전년 대비 8.3% 증가한 118억유로(약 15조 2,700억 원)를 달성했으며, 주가 역시 전년 130유로 전후에서 최근 266유로까지 치솟았다. 올해 1분기 매출 24억 4,100만 유로(약 3조 2,489억 원), 영업이익 4억 2,700만 유로(약 5,683억 원)로, 매출액과 영업이익은 전년대비 9.5%, 27.8% 증가하였다.

ASML은 한국어 홈페이지를 개설하고, 긴밀한 관계를 유지하기 위해 힘쓰고 있다. ASML 코리아 매출 역시 전년 대비 20% 상승세를 보이고 있다.

ASML 전체 매출 중 대만 기업이 차지하는 비중은 2018년 1분기에 3%에 그쳤으나, 전년 4분기 51%로 급증했다. 지난 2년간 TSMC가 EUV 장비를 도입한 덕분이다. 삼성전자와 미국 인텔 역시 ASML의 EUV 장비를 도입하고 있다.

ASML의 반도체 시장에서의 영향력은 앞으로 예측이 불허하다.


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